Effet de la température du substrat des couches minces de CuAlO2 élaborées par spray pneumatique sur les propriétés diélectriques

Abstract

Dans ce présent mémoire on a élaborées des couches minces en oxyde de cuivre-aluminium (CuAlO2) sur des substrats en verre, par la technique spray pyrolyse à partir d’un précurseur de chlorure d’aluminium hexa-hydraté (AlCl3.6H2O) et de chlorure de cuivre di-hydraté (CuCl2.2H2O) avec la fixation de la pression (1bar), le temps de déposition (3min), molarité de la solution (0.02mol/l) et la distance bec-substrat (30cm) ; afin d’étudier l’effet de la températures qui varie de 200 à 550°C sur les diverses propriétés structurales, morphologiques, optiques, électriques et diélectriques à l’aide des dispositifs DRX, MEB, spectroscopie UV-Visible, méthode quatre pointes et de la méthode capacitive en configuration MIM respectivement. La meilleur couche mince est élaborée dans la température du substrat 450°C avec une structure Delafossite hexagonal P63/mmc, homogénéité de la surface, forte transmission optique dans le domaine visible ~ 90%, large bande interdite ~ 3,9eV, grande résistivité ~ 3.103 Ω.cm et des valeurs de la constante diélectrique dans l’intervalle 750-3000. Mots clés : L’oxyde de cuivre-aluminium (CuAlO2), Delafossite type p, spray pyrolyse, température du substrat, élaboration et caractérisations des couches minces, permittivité diélectrique