ELABORATION ET CARACTERISATION DES COUCHES MINES DE ZNO DOPEES PAR L’INDIUM

Abstract

Dans ce travail la croissance des couches minces d'oxyde de zinc (ZnO) ont été déposées par la technique de spray ultrasonique sur des substrats en verre a température 400°C. Notre intérêt consiste à améliorer la qualité de ces couches par l’étude de l’influence des dopants sur les propriétés structurales, optiques et électriques afin d’obtenir des couches transparentes et conductrices.). Pour cela, nous avons utilisé la source de dopant In(NO3)33H2O. A chaque fois, le taux de dopage a été varié de1 à 6% en poids. Ces couches sont analysées par diverses techniques de caractérisation des matériaux.  La caractérisation optique des films a été réalisée à l’aide d’un spectrométrie UV- Visible dans la gamme spectrale allant de 200 à 5100 nm. L’analyse des spectres de transmittance nous a permis de déterminer les épaisseurs et les gaps des films.  Les spectres de diffraction des RX montrent que les films déposés avec différents pourcentages du dopage sont fortement texturés et présentent une orientation préférentielle suivant la direction (002).  Les mesures électriques ont été réalisées à l’aide de la technique des deux pointes qui permettent de déduire la conductivité 5(Ωcm)-1.