L’effet de la concentration du dopant sur les propriétés des couches minces de ZnO élaboré par spray

Abstract

Dans ce travail en dépose des couches minces d'oxyde de zinc (ZnO) dopées et non dopées , en utilisant chlorure de zinc (ZnCl2) comme un source de ZnO et la source de dopant le chlorure d'aluminium (AlCl3), nous avons utilisé la technique spray pyrolyse basée sur la pulvérisation pneumatique. L’objectif principale de notre travail est d’améliorer les propriétés électriques de l’oxyde de zinc intrinsèque en le dopant par l’aluminium, où on a varié la concentration du dopant (1-8%) tout en fixons les autres paramètres tel que: la température de substrat à (400 °c), la concentration de la solution (0.1mole/l), et le temps de dépôt (7 min). Pour déterminer la concentration optimale du dopant, on a utilisé la diffraction des rayons X et la microscopie électronique à balayage pour les caractérisations structurales, la spectroscopie UV-Visible pour les caractérisations optiques et la technique de quatre points pour les caractérisations électriques. Cette étude a montrer que la concentration 3 % donne la gronde valeur de conductivité électrique 45.35 (Ω cm) -1 .