L’effet du débit de la solution sur les propriétés des couches minces d’oxyde d’indium (In2O3) déposées par spray Ultrasonique.

Abstract

Dans ce travail, nous avons utilisé un simple system de la technique Spray Ultrasonique, pour déposer des couches minces d’In2O3 sur des substrats de verres chauffés à 400 °C , Où nous avons changé le débit de la solution entre 20ml/h et 60ml/h. Et afin d’étudier les propriétés des films élaborés on a utilisé différentes techniques de caractérisations qui sont : DRX, MEB, EDS, UV-VIS. L’étude structurale des films a montré que les films sont polycristallins avec une structure cubique centrée et une orientation préférentielle selon le plan (400) ,la taille des grains varie dans l’intervalle de [47-70 nm] et les résultats de l’étude optique ont montré que les films d’In2O3 élaborées jouissent avec transmittance dans la gamme visible atteint 54% et 83% et le gap optique varies dans l’intervalle de [3.997 - 3.721eV].