L’effet du débit de la solution sur les propriétés des couches minces d’oxyde de zinc (ZnO) déposées par spray ultrasonique.

Abstract

L’éffet du débit de la solution sur les propriétés des couches minces d’oxyde de zinc (ZnO) déposées par spray ultrasonique. Dans ce travail, nous avons utilisé un système de dépôt basé sur la technique de spray pyrolyse ultrasonique. A partir de ce dernier on a déposé des couches minces d’oxyde de zinc (ZnO) avec la variation de débit de la solution de 50 ml/h jusqu’à 125 ml/h, et on fixe les autres paramètres tel que la concentration de la solution, le temps de dépôt, température de substrat et la distance bec-substrat. Afin d’étudier l’influence du débit de la solution sur les propriétés des films élaborés, on a utilisé plusieurs techniques de caractérisation, tel que la diffraction des rayons X (DRX) pour déterminer la structure des films, la microscopie électronique à balayage (MEB) pour l’étude de la morphologie des surfaces, la spectroscopie (EDS) pour l’étude de la composition chimique des films, la spectroscopie UV- Visible-Nir pour déterminer les propriétés optiques des films minces. Les résultats expérimentaux ont montrées que :La structure des films déposés est hexagonale de type wurtzite, la taille moyenne des grains varie de 20.11 à 32.45 nm, la transmittance des films entre 80% et 90% dans le domaine visible et l’énergie de gap varie de 3.274 à 3.282 eV quand le débit de la solution croit de 50 à 150 ml/h.