Optimisation de la température du substrat des couches minces de CuAlO2 élaborées par spray pneumatique

Abstract

Dans ce travail nous avons élaboré des couches minces d'oxyde de cuivre-aluminium CuAlO2 sur des substrats de verre par spray pneumatique. Nous avons utilisé des concentrations de chlorure d’aluminium (AlCl3) et chlorure de cuivre(CuCl2) respectivement de (40 et 60%). L’objectif de notre travail est d’étudié l’effet de la température du substrat sur les propriétés structurales, morphologiques, optiques et électriques des couches minces CuAlO2, où on a varié la température (200-550C°) notons que les autres paramètres, tels que le temps de dépôt (3min), la distance bec–substrat (30cm) la pression (1bar) et la molarité (0.02mol/l) sont fixes. Les résultats obtenus après caractérisation par : DRX, MEB, EDX, UV-Visible et quatre pointes des films, montre que la température 400 °C est la température optimale pour obtenir des films de CuAlO2 de bonne propriétés optoélectroniques. Avec une structure rhombohedral , la taille des cristallites 84.228 nm, une conductivité maximale 19.1*10-1 (Ω cm)-1, une bonne morphology, avec une transmittance dans la gamme visible dans la moyenne de l’ordre de 20 % . Ce qui fait d’elle une couche prometteuse comme semi-conducteurs de type P pour des applications photovoltaiques. Mots clés: couches minces, CuAlO2, spray pneumatique, température de substrats,