Réalisation d’un système de dépôt de couches minces.

Abstract

L’objectif principal de ce travail est l’étude et la réalisation d’un système d’évaporation métallique à partir de la phase de conception jusqu'à le choix des pièces utilisées avec le respect des conditions de fonctionnement. D’autre part, pour tester l’efficacité de notre appareil, une étude de caractérisation par la diffraction des rayons X sur une couche mince d’aluminium a été effectuée et qui a montré le dépôt de couche d’oxyde d’aluminium