Optimisation des conditions d’élaboration des couches minces d’oxyde d’étain SnO2 par spray

Abstract

Ce présent travail a pour objectif la déposition et la caractérisation des couches minces d ’oxyde de d ’étain par la méthode spray pneumatique, en vue d ’obtention d ’un oxyde transparent conducteur (TCO) de bonne propriété optoélectrique requise pour son utilisation entant qu’électrode transparente ou détecteur de gaz. La motivation pour l’emploi de cette technique est sa simplicité et sa facilité d ’élaboration. Dans la première partie de ce travail, des séries de film de SnO2 ont été élaborés en variant la molarité de la solution précurseur, la température de substrat, le temps de dépôt, la solution de base et le dissolvant, afin d ’optimiser la qualité des couches minces de SnO2 Dans la deuxième partie de ce travail, une étude de l’influence des gaz sur les propriétés des couches minces de SnO2 a été faite. Les résultats obtenus lors des différentes caractérisations menées (DRX, ALM, UV- Visible et q u a tr e pointes), montre que les conditions optimales de dépôt de couche mince d ’oxyde d ’étain, pour obtenir un matériau ayant de bonnes propriétés optoélectronique, sont : la concentration de la solution 0,2 mol/l; le temps de dépôt 3 minutes; la température du substrat 500°c; la solution de base (Sn CL 2.2H2O); et comme l'eau p u r e dissolvant. L ’étude de l’influence des gaz sur les propriétés des couches minces de SnO2 montre que la résistance surfacique et la transmittance moyenne de la couche mince de SnO2 augmente lorsque l’interaction est avec le gaz oxydant, et diminue lorsque l’interaction est avec le gaz réducteurs. Ainsi la réponse et la transmittance moyenne de la couche mince de SnO2 augmente avec l’augmentation de la concentration de gaz