Optimisation des conditions d’élaboration (température de substrat et distance bec-substrat) des films minces de ZnO par spray.

Abstract

Notre travail a pour objectif d’une part la mise au point d’un système de dépôt de couches mince par spray pneumatique « maison », et son exploitation pour l’obtention de couches minces de ZnO d’autre part. Dans la première partie de la mémoire, nous avons conçu et réalisé le système de dépôt avec des moyens simples et disponibles. Dans la deuxième partie de notre travail, nous avons élaboré une série d’échantillon avec différents paramètres de dépôt, (température de substrat, distance bec/substrat) afin d’optimiser ce dernier et comprendre également le processus de dépôt de couches minces par spray pneumatique. Les résultats de la caractérisation DRX, MEB, UV-Visible et quatre pointes des films montre que la température 400 °C et la distance 40 cm sont optimaux pour obtenir des films TCO (ZnO) de bonne propriétés. D’autre part les films ont une structure wurtzite avec une orientation préférentielle (002), transmittance de 80% et résistivité de 10-2 à 10-1 (Ω.Cm)-1.