DEPOT ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DE ZnO PAR SPRAY PYROLYSE

Abstract

L’élaboration des couches minces par les techniques classiques nécessite des équipements énormes et spéciaux. Pour cette raison, le dépôt par spray pyrolyse se présente comme une méthode alternative ayant plusieurs avantages ; mise au point relativement simple, banc de dépôt non encombrant, non dangereux et surtout à bas prix et finalement donne des résultats satisfaisants. Dans ce travail, nous nous sommes focalisés, plus particulièrement, sur la réalisation et l’optimisation d’un système de dépôt par spray pyrolyse d’un part et la caractérisation des films d'oxyde de zinc (ZnO) élaborés d’autre part. Pour cela, on a effectué différentes caractérisations afin d’optimiser les conditions d’élaboration de couches minces par cette technique. L’étude porte surles effets des paramètres de dépôt tels que la concentration de la solution de départ, le temps de dépôt et la température du substrat sur la qualité des films. Ces couches sont analysées par diverses techniques de caractérisation des matériaux. La diffraction des rayons X et le microscope électronique à balayage ont confirmé que ces films minces sont cristallins avec un état de surface rugueux. L’analyse EDS, nous a permis de vérifier la composition de ces films minces, La spectrophotométrie UV-VIS de ces films confirme qu'il est possible d'obtenir de bons films transparents de ZnO avec, en moyenne, une transmittance de ~ 85% dans le visible et un gap optique autour de 3,3 eV. Selon les paramètres de dépôt ; les mesures électriques effectuées sur les échantillons ont donné une résistivité électrique de l’ordre de 10-2Ω.cm.