Dopage et caractéri sat ion des couches minces d'oxyde de Zinc déposées par spray pyrolyse Ul trasonique

Abstract

Dans ce travail, nous avons réalisé un dispositif de Spray Pyrolyse Ultrasonique, pour déposer des couches minces d’oxyde de zinc dopé Al. Nous avons classé deux séries : La première série: la source de dopage a été Le nitrate d'aluminium (Al (NO3)3) avec pourcentage varie entre 0% jusqu'à 8%. La deuxième série: la source de dopage a été Le chlorure d'aluminium (Al Cl3) avec pourcentage varie entre 0% jusqu'à 8%. Notons que, les autres paramètres sont fixés, tel que: la température et la concentration d’oxyde de zinc. L’objectif de ce travail est l’étude de l’effet de dopage sur les propriétés optiques, structurales et électriques des couches minces d’oxyde de zinc.